@article{weko_32621_1,
   author	 = "久保田,弘 and 中田,明良 and 板倉,敬二郎 and 美野田,敏寛",
   title	 = "微細デバイス計測のための微小電極プローブに関する研究",
   journal	 = "工学研究機器センター報告",
   year 	 = "2006",
   volume	 = "38",
   number	 = "",
   pages	 = "22--22"
}