@article{weko_32679_1,
   author	 = "久保田 ,弘 and 中田,明良 and 赤道,孝之 and 吉野,彰一郎 and 原,弘一 and 脇元,聡",
   title	 = "レチクルフリー露光技術の開発",
   journal	 = "工学研究機器センター報告",
   year 	 = "2005",
   volume	 = "37",
   number	 = "",
   pages	 = "12--12"
}