@article{weko_32720_1,
   author	 = "久保田,弘 and 中田,明良 and 居村,史人 and 小坂 ,光二 and 江頭,義也 and 板倉,敬二郎",
   title	 = "微細構造デバイス用電気計測システムの開発",
   journal	 = "工学研究機器センター報告",
   year 	 = "2003",
   volume	 = "36",
   number	 = "",
   pages	 = "9--9"
}