@article{weko_32734_1,
   author	 = "久保田 ,弘 and 中田,明良 and 赤道,孝之 and 小坂 ,光二 and 原,弘一 and 吉野,彰一郎 and 脇元,聡",
   title	 = "プリント配線基板用レチクルフリー露光システムの性能評価",
   journal	 = "工学研究機器センター報告",
   year 	 = "2003",
   volume	 = "36",
   number	 = "",
   pages	 = "14--14"
}