@article{weko_32737_1,
   author	 = "久保田,弘 and 中田,明良 and 居村,史人 and 板倉,敬二郎 and 小坂 ,光二 and 江頭,義也 and 万,化",
   title	 = "半導体電気計測用ナノプロービングシステムの開発",
   journal	 = "工学研究機器センター報告",
   year 	 = "2003",
   volume	 = "36",
   number	 = "",
   pages	 = "16--16"
}