@article{weko_32750_1,
   author	 = "久保田 ,弘 and 中田,明良 and 赤道,孝之 and 小坂 ,光二 and 若杉,雄彦 and 吉野,彰一郎",
   title	 = "液晶ディスプレイを用いたレチクルフリー露光におけるアドレスグリッドの最適化",
   journal	 = "工学研究機器センター報告",
   year 	 = "2003",
   volume	 = "36",
   number	 = "",
   pages	 = "22--22"
}