@article{weko_32754_1, author = "久保田 ,弘 and 中田,明良 and 居村,史人 and 板倉,敬二郎 and 小坂,光二 and 小坂,哲也 and 江頭,義也", title = "非共振型超音波モータ駆動ナノマニピュレータの開発 : 小型ナノマニピュレータの性能評価", journal = "工学研究機器センター報告", year = "2003", volume = "36", number = "", pages = "24--24" }