2026-03-11T07:07:14Z https://kumadai.repo.nii.ac.jp/oai

oai:kumadai.repo.nii.ac.jp:00032722 2025-12-09T02:01:01Z 426:482

減圧乾燥シミュレートのためのスキャン塗布レジスト液膜の物性値評価 ゲンアツ カンソウ シミュレート ノ タメ ノ スキャン トフ レジスト エキマク ノ ブッセイチ ヒョウカ 久保田, 弘 クボタ, ヒロシ Kubota, Hiroshi 中田, 明良 ナカダ, アキラ Nakada, Akira 森川, 晃次 モリカワ, コウジ Morikawa, Koji 坂本, 賢太郎 507 熊本大学工学部附属工学研究機器センター 2003 jpn departmental bulletin paper VoR http://hdl.handle.net/2298/00044277 https://kumadai.repo.nii.ac.jp/records/32722 0289-694X AA11333838 工学研究機器センター報告 36 11 11 https://kumadai.repo.nii.ac.jp/record/32722/files/KKC0036_011_36-20.pdf application/pdf 296.6 kB 2021-11-29