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oai:kumadai.repo.nii.ac.jp:00027902 2025-05-01T05:00:29Z 426:504:561

大口径化に対応したSiC基板の紫外光支援研磨に関する研究 ダイコウケイ カ ニ　タイオウ　シタ SiC キバン ノ シガイコウ シエン ケンマ ニ カンスル ケンキュウ Study on ultraviolet-ray assisted polishing of SiC sub strate corresponding to large-diameter 坂本, 武司 サカモト, タケシ Sakamoto, Takeshi 稲木, 匠 イナキ, タクミ Inaki, Takumi 小田, 和明 オダ, カズアキ Oda, Kazuaki 峠, 睦 トウゲ, ムツミ Touge, Mutsumi 507 SiC ultraprecission machining ultraviolet-ray irradiation XPS 平成25年度熊本大学総合技術研究会 conference presentation 熊本大学 2013-09-20 VoR application/pdf 熊本大学総合技術研究会発表要旨 2013 23 24 https://kumadai.repo.nii.ac.jp/record/27902/files/SGK0025_023-024.pdf http://hdl.handle.net/2298/28869 https://kumadai.repo.nii.ac.jp/records/27902 jpn open access