2026-03-14T17:28:34Z https://kumadai.repo.nii.ac.jp/oai

oai:kumadai.repo.nii.ac.jp:00032338 2025-12-04T05:54:48Z 426:482

Ion Beam Assist 法を用いたa-Si:H 膜への過剰水素添加に関する研究 Ion Beam Assistホウ オ モチイタ a-Si:H マク エノ カジョウ スイソ テンカ ニ カンスル ケンキュウ 久保田, 弘 クボタ, ヒロシ Kubota, Hiroshi 美山, 和樹 ミヤマ, カズキ Miyama, Kazuki ンダギジマナ, ジャスティン 507 departmental bulletin paper 熊本大学工学部附属工学研究機器センター 2013 VoR application/pdf 工学研究機器センター報告 45 8 8 0289-694X AA11333838 https://kumadai.repo.nii.ac.jp/record/32338/files/KKC0045_45-8.pdf http://hdl.handle.net/2298/00043925 https://kumadai.repo.nii.ac.jp/records/32338 jpn