@misc{oai:kumadai.repo.nii.ac.jp:00016374,
 author = {Nakabayashi, Masakazu and 中林, 正和},
 month = {Mar},
 note = {application/pdf, 学位論文(Thesis)},
 title = {多結晶シリコン薄膜抵抗に対する外部環境の影響に関する研究},
 year = {2002}
}