@misc{oai:kumadai.repo.nii.ac.jp:00016388, author = {Egashira, Yoshiya and 江頭, 義也}, month = {Mar}, note = {application/pdf, 学位論文(Thesis)}, title = {超精密位置決め用圧電アクチュエータの高速駆動に関する研究}, year = {2003} }