WEKO3
アイテム
半導体素子の多層配線形成における平坦化研磨技術に関する研究
http://hdl.handle.net/2298/2773
http://hdl.handle.net/2298/27739092928c-c79a-4832-b7e7-1389e4f67fd4
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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24-0225.pdf (19.6 MB)
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| Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2014-12-04 | |||||||
| タイトル | ||||||||
| タイトル | 半導体素子の多層配線形成における平坦化研磨技術に関する研究 | |||||||
| 言語 | ja | |||||||
| タイトル | ||||||||
| タイトル | ハンドウタイ ソシ ノ タソウ ハイセン ケイセイ ニオケル ヘイタンカ ケンマ ギジュツ ニ カンスル ケンキュウ | |||||||
| 言語 | ja-Kana | |||||||
| 言語 | ||||||||
| 言語 | jpn | |||||||
| キーワード | ||||||||
| 主題 | ウェハチャック, ウェハエッジ, パッドドレッシング | |||||||
| 資源タイプ | ||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_46ec | |||||||
| 資源タイプ | thesis | |||||||
| 著者 |
藤田, 隆
× 藤田, 隆
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| 書誌情報 |
発行年 2004-03-25 |
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| 著者版フラグ | ||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||
| 日本十進分類法 | ||||||||
| 主題 | 377.5 | |||||||
| 出版者 | ||||||||
| 出版者 | 熊本大学 | |||||||
| 言語 | ja | |||||||
| 学位名 | ||||||||
| 学位名 | 博士（工学）(ja) | |||||||
| 学位授与機関 | ||||||||
| 学位授与機関名 | 熊本大学 | |||||||
| 学位授与年月日 | ||||||||
| 学位授与年月日 | 2004-03-25 | |||||||
| 学位授与番号 | ||||||||
| 学位授与番号 | 甲第225号 | |||||||
| 学位番号 | ||||||||
| 値 | 甲博工第225号 | |||||||
