@misc{oai:kumadai.repo.nii.ac.jp:00022344,
 author = {小坂, 光二 and Kosaka, Koji and 小坂, 光二},
 month = {Sep},
 note = {application/pdf, 学位論文(Thesis), 研究の主目的は、NRUSMの産業応用を目指した取り組みであり、単体性能追求だけにとどまらず、その成果を実用化する際に必要となる全ての項目を含めた総合研究開発として取り組んできた。},
 title = {新高速圧電アクチュエータの超精密半導体プロセスへの応用と原子スケール生産技術の確立},
 year = {2005},
 yomi = {コサカ, コウジ}
}