@misc{oai:kumadai.repo.nii.ac.jp:00022440, author = {Yamamuro, Takateru and 山室, 賢輝}, month = {Sep}, note = {application/pdf, 発表資料, 2008年度 第22回 熊本大学工学部技術部技術報告会(2008年9月11.12日開催) ポスター発表Ⅱ}, title = {FIB(収束イオンビーム装置)の紹介}, year = {2008} }