WEKO3
アイテム
スパッタ法で作った鉄薄膜
http://hdl.handle.net/2298/20284
http://hdl.handle.net/2298/2028429f9263c-1945-4e1d-adcc-4afee726236c
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
KYN0023_015-020.pdf (2.0 MB)
|
|
| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2011-07-14 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | スパッタ法で作った鉄薄膜 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題 | Feスパッタ膜, 柱状粒, 垂直入射 | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| 著者 |
伊藤, 喜久男
× 伊藤, 喜久男 |
|||||
| 別言語の著者 |
Itoh, Kikuo
× Itoh, Kikuo |
|||||
| 内容記述 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | Iron films deposited on glass substrates at normal incidence by sputtering were investigated. The substrate temperature ranged from room temperature to 300℃ and the argon gas pressures during deposition were 8, 10 and 20Pa. The incident power was varied from 40 to 200W. Results obtained are as follows. (1)With increasing the substrate temperature, the sticking coefficient of iron deposit decreases. This dependence differs from that of evaporated films. (2)The packing density is high in the films prepared at not only high but also low substrate temperatures. (3)With increasing argon gas pressure, gaps between crystallites become large. (4)The films consists of columnar grains and exhibits a crystallographic preferred orientation. | |||||
| 書誌情報 |
熊本大学教養部紀要 巻 23(自然科学編), p. 15-20, 発行年 1988-01-31 |
|||||
| ISSN | ||||||
| 収録物識別子 | 02865769 | |||||
| NCID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AN0006671X | |||||
| フォーマット | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | application/pdf | |||||
| 形態 | ||||||
| 1968211 bytes | ||||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||
| 日本十進分類法 | ||||||
| 主題Scheme | NDC | |||||
| 主題 | 563.6 | |||||
| その他の言語のタイトル | ||||||
| その他のタイトル | Iron Films Deposited by Sputtering | |||||
| タイトル（ヨミ） | ||||||
| その他のタイトル | スパッタ ホウ デ ツクッタ テツ ハクマク | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 熊本大学 | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 論文(Article) | |||||
| 資源タイプ・ローカル | ||||||
| 紀要論文 | ||||||
| 資源タイプ・NII | ||||||
| Departmental Bulletin Paper | ||||||
| 資源タイプ・DCMI | ||||||
| text | ||||||
| 資源タイプ・ローカル表示コード | ||||||
| 02 | ||||||
