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  1. センター等
  2. その他
  3. 紀要(その他の所属)

斜め蒸着Fe薄膜のdepth profile

http://hdl.handle.net/2298/20285
http://hdl.handle.net/2298/20285
37f3efbb-e277-4198-9d61-c9cba008874b
名前 / ファイル ライセンス アクション
KYN0025_001-005.pdf KYN0025_001-005.pdf (1.1 MB)
Item type 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1)
公開日 2011-07-14
タイトル
タイトル 斜め蒸着Fe薄膜のdepth profile
言語
言語 jpn
キーワード
主題 斜め蒸着, Fe薄膜, 柱状結晶粒, depth profile
資源タイプ
資源タイプ識別子 http://purl.org/coar/resource_type/c_6501
資源タイプ departmental bulletin paper
著者 伊藤, 喜久男

× 伊藤, 喜久男

WEKO 147866

伊藤, 喜久男

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原, 一博

× 原, 一博

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原, 一博

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紙谷, 正夫

× 紙谷, 正夫

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紙谷, 正夫

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別言語の著者 Itoh, Kikuo

× Itoh, Kikuo

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Itoh, Kikuo

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Hara, Kazuhiro

× Hara, Kazuhiro

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Hara, Kazuhiro

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Kamiya, Masao

× Kamiya, Masao

WEKO 147868

Kamiya, Masao

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内容記述
内容記述タイプ Other
内容記述 The geometrical depth profile of obliquely deposited iron films prepared at substrate temperatures of 119, 173 and 339K was investigated by measuring the anisotropy of reflection coefficient and the magnetic anisotropy field in the thinning process of the film by sputtering. Films were deposited at an incidence angle of 65° in a vacuum of 4.0×10^-3Pa. Results obtained are as follows. (1)Depth profiles of the anisotropy of reflection coefficient and the anisotropy field provide the same information on the columnar grain structure. (2)Irrespective of the substrate temperature, the structures near the top surface and the substrate differ from the inner structure. The packing of columnar grains is sparse near the top surface and dense near the substrate.
書誌情報 熊本大学教養部紀要

巻 25(自然科学編), p. 1-5, 発行年 1990-01-31
ISSN
収録物識別子 02865769
NCID
収録物識別子タイプ NCID
収録物識別子 AN0006671X
フォーマット
内容記述タイプ Other
内容記述 application/pdf
形態
値 1079493 bytes
著者版フラグ
出版タイプ VoR
出版タイプResource http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85
日本十進分類法
主題Scheme NDC
主題 563.6
その他の言語のタイトル
その他のタイトル Depth Profile of Obliquely Deposited Iron Films
タイトル(ヨミ)
その他のタイトル ナナメ ジョウチャク Fe ハクマク ノ depth profile
出版者
出版者 熊本大学
資源タイプ
内容記述タイプ Other
内容記述 論文(Article)
資源タイプ・ローカル
値 紀要論文
資源タイプ・NII
値 Departmental Bulletin Paper
資源タイプ・DCMI
値 text
資源タイプ・ローカル表示コード
値 02
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Ver.1 2023-06-19 16:35:38.512771
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