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低予算のナノインプリント : ネガ型フォトレジストを成形樹脂に代用
http://hdl.handle.net/2298/23422
http://hdl.handle.net/2298/234227ba1b44c-37ce-4f41-8506-98cc976f5137
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
02-P-33.pdf (1.2 MB)
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| Item type | 会議発表用資料 / Presentation(1) | |||||
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| 公開日 | 2012-02-03 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 低予算のナノインプリント : ネガ型フォトレジストを成形樹脂に代用 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ | conference object | |||||
| 著者 |
庄司, 大
× 庄司, 大 |
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| 内容記述 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 平成22年度熊本大学総合技術研究会，装置関係技術分野（ポスター発表） | |||||
| 書誌情報 | 発行日 2011-03-17 | |||||
| フォーマット | ||||||
| 内容記述 | application/pdf | |||||
| 形態 | ||||||
| 1226227 bytes | ||||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 出版タイプ | AM | |||||
| 日本十進分類法 | ||||||
| 主題Scheme | NDC | |||||
| 主題 | 549.8 | |||||
| タイトル（ヨミ） | ||||||
| その他のタイトル | テイヨサン ノ ナノインプリント : ネガガタ フォト レジスト オ セイケイ ジュシ ニ ダイヨウ | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 熊本大学工学部技術部 | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 内容記述 | 発表資料 | |||||
| 資源タイプ・ローカル | ||||||
| 発表資料 | ||||||
| 資源タイプ・NII | ||||||
| Presentation | ||||||
| 資源タイプ・DCMI | ||||||
| text | ||||||
| 資源タイプ・ローカル表示コード | ||||||
| 05 | ||||||
| URI | ||||||
| http://hdl.handle.net/2298/23422 | ||||||
| URL | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | http://www.tech.eng.kumamoto-u.ac.jp/kumamoto2011/ | |||||
| コメント | ||||||
| 所属：東京工業大学 技術部 半導体・MEMS支援センター | ||||||
