@misc{oai:kumadai.repo.nii.ac.jp:00027902,
 author = {Sakamoto, Takeshi and Inaki, Takumi and Oda, Kazuaki and 峠, 睦 and Touge, Mutsumi and 坂本, 武司 and 稲木, 匠 and 小田, 和明 and 峠, 睦},
 month = {Sep},
 note = {application/pdf, 発表資料, 平成25年度熊本大学総合技術研究会},
 title = {大口径化に対応したSiC基板の紫外光支援研磨に関する研究},
 year = {2013},
 yomi = {トウゲ, ムツミ}
}