@article{oai:kumadai.repo.nii.ac.jp:00028508,
 author = {Yamamuro, Takateru and Yoshinaga, Toru and Matsuda, Mikiya and 神澤, 龍市 and Kozawa, Ryuichi and 神澤, 龍一 and Kouzawa, Ryuichi and 里中, 忍 and Satonaka, Shinobu and 山室, 賢輝 and 吉永, 徹 and 松田, 樹也 and 神澤, 龍市 and 里中, 忍 and Satonaka, Shinobu},
 journal = {熊本大学工学部技術部年次報告集},
 month = {Jun},
 note = {application/pdf, 論文(Article), http://www.tech.eng.kumamoto-u.ac.jp/work/nenpou/2013_techreport.pdf},
 pages = {153--154},
 title = {革新ものづくりプロジェクト・薄膜スパッタ装置の作製},
 volume = {2013},
 year = {2014},
 yomi = {コウザワ, リュウイチ and サトナカ, シノブ and サトナカ, シノブ}
}