@article{oai:kumadai.repo.nii.ac.jp:00032300,
 author = {久保田, 弘 and Kubota, Hiroshi and 長野 , 聖央},
 journal = {工学研究機器センター報告},
 month = {},
 pages = {5--5},
 title = {反射型レチクルフリー露光装置を用いた伸縮基板対応アライメント方式の開発},
 volume = {47-48},
 year = {2016},
 yomi = {クボタ, ヒロシ and ナガノ, マサヒロ}
}