@article{oai:kumadai.repo.nii.ac.jp:00032314,
 author = {久保田, 弘 and Kubota, Hiroshi and 横山  , 聡 and 刀根 , 輝徳},
 journal = {工学研究機器センター報告},
 month = {},
 pages = {7--7},
 title = {レチクルフリー露光装置を用いた伸縮基板対応アライメント方式の開発},
 volume = {46},
 year = {2014},
 yomi = {クボタ, ヒロシ and ヨコヤマ , サトシ and トネ , ミツノリ}
}