@article{oai:kumadai.repo.nii.ac.jp:00032320, author = {久保田, 弘 and Kubota, Hiroshi and 西口 , 博樹 and 刀根 , 輝徳 and 松川 , 誠也 and 吉岡 , 昌雄 and Yoshioka, Masao}, journal = {工学研究機器センター報告}, month = {}, pages = {11--11}, title = {フォトリソグラフィを用いた変調SiO2基板上へのグラフェン成膜とその特性評価に関する研究}, volume = {46}, year = {2014}, yomi = {クボタ, ヒロシ and ニシグチ, ヒロキ and トネ , ミツノリ and マツカワ, セイヤ and ヨシオカ, マサオ} }