@article{oai:kumadai.repo.nii.ac.jp:00032338,
 author = {久保田, 弘 and Kubota, Hiroshi and 美山 , 和樹 and ンダギジマナ, ジャスティン},
 journal = {工学研究機器センター報告},
 month = {},
 pages = {8--8},
 title = {Ion Beam Assist 法を用いたa-Si:H 膜への過剰水素添加に関する研究},
 volume = {45},
 year = {2013},
 yomi = {クボタ, ヒロシ and ミヤマ , カズキ}
}