@article{oai:kumadai.repo.nii.ac.jp:00032430,
 author = {久保田, 弘 and Kubota, Hiroshi and 松村, 康志 and Matsumura, Yasushi and 木村, 慶祐 and Kimura, Keisuke and 吉岡 , 昌雄 and Yoshioka, Masao and 平野, 利政 and 濱口, 誠治 and 岩田, 洋輔 and 那須, 淳一 and Nasu, Jyun-ichi and 塩津, 啓介 and 宗, 勇樹 and 西, 優弥},
 journal = {工学研究機器センター報告},
 month = {},
 pages = {29--29},
 title = {パルス光伝導法による22nm世代以降に向けたゲート絶縁膜インライン評価手法の提案},
 volume = {42},
 year = {2010},
 yomi = {クボタ, ヒロシ and マツムラ, ヤスシ and キムラ, ケイスケ and ヨシオカ, マサオ and ヒラノ, トシマサ and ハマグチ, セイジ and イワタ, ヨウスケ and ナス, ジュンイチ and シオツ, ケイスケ and ソウ, ユウキ and ニシ, ユウヤ}
}