@article{oai:kumadai.repo.nii.ac.jp:00032433,
 author = {久保田, 弘 and Kubota, Hiroshi and 宮本, 康生},
 journal = {工学研究機器センター報告},
 month = {},
 pages = {32--32},
 title = {Ion-Beam Assist を用いた高移動度アモルファスシリコン膜の作製},
 volume = {42},
 year = {2010},
 yomi = {クボタ, ヒロシ and ミヤモト, ヤスオ}
}