@article{oai:kumadai.repo.nii.ac.jp:00032435,
 author = {久保田, 弘 and Kubota, Hiroshi and 宗, 勇樹 and 宮本, 康生 and 西, 優弥 and 林, 直毅 and 市川, 武史 and 松本, 繁幸},
 journal = {工学研究機器センター報告},
 month = {},
 pages = {34--34},
 title = {Integration of Wet Etching Membrane Micro-Arrays},
 volume = {42},
 year = {2010},
 yomi = {クボタ, ヒロシ and ソウ, ユウキ and ミヤモト, ヤスオ and ニシ, ユウヤ and ハヤシ, ナオキ and イチカワ, タケシ}
}