@article{oai:kumadai.repo.nii.ac.jp:00032498,
 author = {安井, 平司 and 山本, 雄記 and Yamamoto, Yuki and 坂本, 竜司郎 and Sakamoto, Ryujiro},
 journal = {工学研究機器センター報告},
 month = {},
 pages = {16--16},
 title = {新概念超平滑研削法によるナノメータレベル平坦面生成技術の検討(第１報) : 平坦度に及ぼす研削方向平行間欠送り量の影響},
 volume = {40},
 year = {2008},
 yomi = {ヤスイ, ヘイジ and ヤマモト, ユウキ and サカモト, リュウジロウ}
}