@article{oai:kumadai.repo.nii.ac.jp:00032580,
 author = {久保田, 弘 and Kubota, Hiroshi and 中田, 明良 and 江口, 雅典 and 齊藤, 茂樹 and Saito, Shigeki and 那須, 淳一 and Nasu, Jyun-ichi and 羽山, 隆史 and 新庄, 信博 and 日高, 光太},
 journal = {工学研究機器センター報告},
 month = {},
 pages = {37--37},
 title = {インライン対応レジスト膜温度検査装置に関する研究},
 volume = {39},
 year = {2007},
 yomi = {クボタ, ヒロシ and ナカダ, アキラ and サイトウ, シゲキ and ナス, ジュンイチ and ハヤマ, タカフミ and シンジョウ, ノブヒロ and ヒダカ, コウタ}
}