@article{oai:kumadai.repo.nii.ac.jp:00032586,
 author = {久保田, 弘 and Kubota, Hiroshi and 中田, 明良 and 吉岡 , 昌雄 and Yoshioka, Masao and 西, 優弥 and 中野, 公太 and 小坂, 光二},
 journal = {工学研究機器センター報告},
 month = {},
 pages = {46--46},
 title = {SEMを用いた電子線リソグラフィによる長距離細線描画の評価},
 volume = {39},
 year = {2007},
 yomi = {クボタ, ヒロシ and ナカダ, アキラ and ヨシオカ, マサオ and ニシ, ユウヤ and ナカノ, コウタ and コサカ, コウジ}
}