@article{oai:kumadai.repo.nii.ac.jp:00032591, author = {久保田, 弘 and Kubota, Hiroshi and 中田, 明良 and 吉岡 , 昌雄 and Yoshioka, Masao and 徳満, 拓郎 and 遠藤, 泰史 and Endo, Taishi and 近藤, 裕樹 and 小坂, 光二 and Kosaka, Koji}, journal = {工学研究機器センター報告}, month = {}, pages = {50--50}, title = {スリップフリー駆動を用いた高速圧電アクチュエータのステージ駆動性能評価}, volume = {39}, year = {2007}, yomi = {クボタ, ヒロシ and ナカダ, アキラ and ヨシオカ, マサオ and トクミツ, タクロウ and エンドウ, タイシ and コンドウ, ヒロユキ and コサカ, コウジ} }