@article{oai:kumadai.repo.nii.ac.jp:00032601,
 author = {安井, 平司 and 澤, 武一 and 山本, 雄記 and Yamamoto, Yuki},
 journal = {工学研究機器センター報告},
 month = {},
 pages = {7--7},
 title = {新概念超平滑研削法における研削特性 : 炭化けい素と窒化けい素の研削特性比較},
 volume = {38},
 year = {2006},
 yomi = {ヤスイ, ヘイジ and ヤマモト, ユウキ}
}