@article{oai:kumadai.repo.nii.ac.jp:00032619,
 author = {久保田, 弘 and Kubota, Hiroshi and 永原, 聡 and 小坂, 光二 and Kosaka, Koji and 遠藤, 泰史 and Endo, Taishi},
 journal = {工学研究機器センター報告},
 month = {},
 pages = {21--21},
 title = {超精密高速位置決めステージの高耐久性化に関する研究},
 volume = {38},
 year = {2006},
 yomi = {クボタ, ヒロシ and ナガハラ, サトシ and コサカ, コウジ and エンドウ, タイシ}
}