@article{oai:kumadai.repo.nii.ac.jp:00032621, author = {久保田, 弘 and 中田, 明良 and 板倉, 敬二郎 and 美野田, 敏寛}, journal = {工学研究機器センター報告}, month = {}, pages = {22--22}, title = {微細デバイス計測のための微小電極プローブに関する研究}, volume = {38}, year = {2006}, yomi = {クボタ, ヒロシ and ナカダ, アキラ and イタクラ, ケイジロウ and ミノダ, トシヒロ} }