@article{oai:kumadai.repo.nii.ac.jp:00032627,
 author = {久保田 , 弘 and 中田, 明良 and 江口 , 雅典 and 齊藤, 茂樹 and Saito, Shigeki and 新庄, 信博 and 羽山, 隆史},
 journal = {工学研究機器センター報告},
 month = {},
 pages = {33--33},
 title = {大型FPD対応膜厚ムラ検査装置に関する研究},
 volume = {38},
 year = {2006},
 yomi = {クボタ , ヒロシ and ナカダ, アキラ and サイトウ, シゲキ and シンジョウ, ノブヒロ and ハヤマ, タカフミ}
}