@article{oai:kumadai.repo.nii.ac.jp:00032633,
 author = {久保田, 弘 and Kubota, Hiroshi and 田北, 進哉},
 journal = {工学研究機器センター報告},
 month = {},
 pages = {42--42},
 title = {半導体量産工場で発生する不良解析に関する研究 : 半導体製造ラインにおける低圧CVD膜の膜特性ばらつきの検証},
 volume = {38},
 year = {2006},
 yomi = {クボタ, ヒロシ and タキタ , シンヤ}
}