@article{oai:kumadai.repo.nii.ac.jp:00032677,
 author = {久保田, 弘 and Kubota, Hiroshi and 中田, 明良},
 journal = {工学研究機器センター報告},
 month = {},
 pages = {10--10},
 title = {熊本地域結集型共同研究事業 超精密半導体計測技術開発},
 volume = {37},
 year = {2005},
 yomi = {クボタ, ヒロシ and ナカダ, アキラ}
}