@article{oai:kumadai.repo.nii.ac.jp:00032678,
 author = {久保田, 弘 and Kubota, Hiroshi and 中田, 明良 and 小坂, 光二 and Kosaka, Koji and 江頭, 義也 and 遠藤, 泰史 and Endo, Taishi and 橋口, 弘幸 and 古川, 博之 and 百島, 雅人 and 荒木, 俊二 and Araki, Syunji},
 journal = {工学研究機器センター報告},
 month = {},
 pages = {11--11},
 title = {超精密高速ステージの開発},
 volume = {37},
 year = {2005},
 yomi = {クボタ, ヒロシ and ナカダ, アキラ and コサカ, コウジ and エガシラ, ヨシヤ and エンドウ, タイシ and モモシマ, マサト and アラキ, シュンジ}
}