@article{oai:kumadai.repo.nii.ac.jp:00032679,
 author = {久保田, 弘 and Kubota, Hiroshi and 中田, 明良 and 赤道, 孝之 and 吉野, 彰一郎 and 原, 弘一 and 脇元, 聡},
 journal = {工学研究機器センター報告},
 month = {},
 pages = {12--12},
 title = {レチクルフリー露光技術の開発},
 volume = {37},
 year = {2005},
 yomi = {クボタ, ヒロシ and ナカダ, アキラ and アカミチ, タカユキ and ハラ, コウイチ and ワキモト, サトシ}
}