@article{oai:kumadai.repo.nii.ac.jp:00032680,
 author = {久保田, 弘 and Kubota, Hiroshi and 中田, 明良 and 羽山, 隆史 and 山口, 貴弘 and Yamaguchi, Takahiro},
 journal = {工学研究機器センター報告},
 month = {},
 pages = {12--12},
 title = {大型フラットパネルディスプレイ膜厚検査装置の開発},
 volume = {37},
 year = {2005},
 yomi = {クボタ, ヒロシ and ナカダ, アキラ and ハヤマ, タカフミ and ヤマグチ, タカヒロ}
}