@article{oai:kumadai.repo.nii.ac.jp:00032681,
 author = {久保田, 弘 and Kubota, Hiroshi and 中田, 明良 and 若杉, 雄彦 and 小坂, 光二 and Kosaka, Koji and 赤道, 孝之 and 板倉, 敬二郎 and 脇元, 聡},
 journal = {工学研究機器センター報告},
 month = {},
 pages = {13--13},
 title = {QTATを実現するレチクルフリー露光技術と超精密検査技術},
 volume = {37},
 year = {2005},
 yomi = {クボタ, ヒロシ and ナカダ, アキラ and コサカ, コウジ and アカミチ, タカユキ and イタクラ, ケイジロウ and ワキモト, サトシ}
}