@article{oai:kumadai.repo.nii.ac.jp:00032686,
 author = {久保田, 弘 and Kubota, Hiroshi and 中田, 明良 and 若杉, 雄彦 and 脇元, 聡},
 journal = {工学研究機器センター報告},
 month = {},
 pages = {17--17},
 title = {レチクルフリー露光技術による半導体集積回路の設計・試作},
 volume = {37},
 year = {2005},
 yomi = {クボタ, ヒロシ and ナカダ, アキラ and ワキモト, サトシ}
}