@article{oai:kumadai.repo.nii.ac.jp:00032688,
 author = {久保田, 弘 and Kubota, Hiroshi and 中田, 明良 and 板倉, 敬二郎 and 石川, 康之},
 journal = {工学研究機器センター報告},
 month = {},
 pages = {18--18},
 title = {ナノプローブシステムを用いた微細配線直接プロービング計測},
 volume = {37},
 year = {2005},
 yomi = {クボタ, ヒロシ and ナカダ, アキラ and イタクラ, ケイジロウ}
}