@article{oai:kumadai.repo.nii.ac.jp:00032704,
 author = {久保田, 弘 and 中田, 明良 and 原, 弘一},
 journal = {工学研究機器センター報告},
 month = {},
 pages = {16--16},
 title = {レチクルフリー階調制御多重露光方式},
 volume = {37},
 year = {2005},
 yomi = {クボタ, ヒロシ and ナカダ, アキラ and ハラ, コウイチ}
}