@article{oai:kumadai.repo.nii.ac.jp:00032718,
 author = {久保田, 弘 and Kubota, Hiroshi and 中田, 明良 and 木原, 健雄 and 森川, 晃次 and 森, 康雄},
 journal = {工学研究機器センター報告},
 month = {},
 pages = {9--9},
 title = {サブ0.1ミクロン加工のための誘導結合型プラズマ特性の評価},
 volume = {36},
 year = {2003},
 yomi = {クボタ, ヒロシ and ナカダ, アキラ and モリカワ, コウジ}
}