@article{oai:kumadai.repo.nii.ac.jp:00032720, author = {久保田, 弘 and Kubota, Hiroshi and 中田, 明良 and 居村, 史人 and Imura, Fumito and 小坂, 光二 and Kosaka, Koji and 江頭, 義也 and 板倉, 敬二郎}, journal = {工学研究機器センター報告}, month = {}, pages = {9--9}, title = {微細構造デバイス用電気計測システムの開発}, volume = {36}, year = {2003}, yomi = {クボタ, ヒロシ and ナカダ, アキラ and イムラ, フミト and コサカ, コウジ and エガシラ, ヨシヤ and イタクラ, ケイジロウ} }