@article{oai:kumadai.repo.nii.ac.jp:00032721, author = {久保田, 弘 and Kubota, Hiroshi and 中田, 明良 and 遠藤, 泰史 and Endo, Taishi and 橋口, 弘幸 and 原田, 崇 and 永本, 恵市 and 小坂, 光二 and Kosaka, Koji and 江頭, 義也 and 古川, 博之 and 小磯, 公房}, journal = {工学研究機器センター報告}, month = {}, pages = {10--10}, title = {非共振型超音波モータ駆動ステージの制御パラメータモニタリング}, volume = {36}, year = {2003}, yomi = {クボタ, ヒロシ and ナカダ, アキラ and エンドウ, タイシ and コサカ, コウジ and エガシラ, ヨシヤ} }