WEKO3
アイテム
レチクルフリー露光システムの開発
http://hdl.handle.net/2298/00044279
http://hdl.handle.net/2298/00044279cf467a61-0ab1-4531-bfbb-7a994d594ab9
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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KKC0036_011_36-21 (199.9 kB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||||||||||||||||||||||||
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| 公開日 | 2021-11-25 | |||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | レチクルフリー露光システムの開発 | |||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | レチクルフリー ロコウ システム ノ カイハツ | |||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja-Kana | |||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | jpn | |||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||||||||||||||||||||||||
| 著者 |
久保田, 弘
× 久保田, 弘
× 中田, 明良
× 赤道, 孝之
× 小坂, 光二
× 松岡, 真二
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| 書誌情報 |
ja : 工学研究機器センター報告 巻 36, p. 11-11, 発行年 2003 |
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| ISSN | ||||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子 | 0289-694X | |||||||||||||||||||||||||||
| NCID | ||||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子 | AA11333838 | |||||||||||||||||||||||||||
| 著者版フラグ | ||||||||||||||||||||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||||||||||||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||||||||||||||||||||
| 日本十進分類法 | ||||||||||||||||||||||||||||
| 主題Scheme | NDC | |||||||||||||||||||||||||||
| 主題 | 507 | |||||||||||||||||||||||||||
| 出版者 | ||||||||||||||||||||||||||||
| 出版者 | 熊本大学工学部附属工学研究機器センター | |||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||||||||
