@article{oai:kumadai.repo.nii.ac.jp:00032728,
 author = {久保田, 弘 and Kubota, Hiroshi and 中田, 明良 and 若杉, 雄彦 and 林, 直毅 and 田中, 秀幸},
 journal = {工学研究機器センター報告},
 month = {},
 pages = {12--12},
 title = {拡散防止膜用窒化タングステン超薄膜形成プロセスの開発},
 volume = {36},
 year = {2003},
 yomi = {クボタ, ヒロシ and ナカダ, アキラ and ハヤシ, ナオキ}
}