@article{oai:kumadai.repo.nii.ac.jp:00032733, author = {久保田, 弘 and Kubota, Hiroshi and 中田, 明良 and 橋口, 弘幸}, journal = {工学研究機器センター報告}, month = {}, pages = {14--14}, title = {真空中における非共振型超音波モータのステージ駆動特性}, volume = {36}, year = {2003}, yomi = {クボタ, ヒロシ and ナカダ, アキラ} }